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技術(shù)文章

半導(dǎo)體行業(yè)高純氣體ppb微量氧氣分析儀應(yīng)用美國SOUTHLAND SENSING-OMD-677-1

    在半導(dǎo)體等電子工業(yè)中,如成電路芯片廠在加工和封裝中高純和超純氣體作為保護氣和置換氣。高純氣體作為半導(dǎo)體、電子產(chǎn)品加工過程的特種氣體的質(zhì)量保障,美國southland sensing公司的微量氧分析儀OMD-677-1測量半導(dǎo)體、電子保護氣中的超低量氧氣含量,廠家直接用于半導(dǎo)體氣體中的微量氧含量檢測。

    一般來說在電子級氣體中的微量水和微量氧含量等雜質(zhì)的要求一般要小于5000-10000ppb,正因為對于氣體如此高的純度要求,為了保障氣體的純度,美國southland sensing公司的OMD-677-1痕量氧分析儀(超微量氧分析儀)得到了廣泛的使用和認可。

OMD-677-1在線微量氧氣分析儀應(yīng)用:

空氣液化和分離

石油化工、電子電力等行業(yè)中高純氧的分析;

空分高純氧監(jiān)測;

冶煉行業(yè);

醫(yī)療衛(wèi)生行業(yè);

微電子、半導(dǎo)體、航天及軍工等領(lǐng)域;

制氫/制氮/C02設(shè)備,凈化/干燥設(shè)備等 


OMD-677 -1在線微量氧氣分析儀參數(shù)

不銹鋼外殼、防水、防塵、防酸按鍵

精 度:<±1%

分辨率:0.001ppm

量程范圍:

0-1ppm,0 - 10ppm, 0 - 100ppm, 0 - 1000ppm,  0 - 25%

量程自動或者手動調(diào)節(jié)

應(yīng) 用:對惰性氣體,碳氫氣體,He,H2,CO2中的氧含量進行PPM分析 ,是測量

H2 ,N2 ,Ar ,He ,乙炔, 乙烯,丁二烯,CO2 ,CnHm 及其它氣體中氧含

量的理想儀器。

報 警:2路繼電器報警輸出 

標(biāo) 定:使用濃度大約為80%量程經(jīng)過認證的標(biāo)準(zhǔn)氣體 

補 償:壓力和溫度 

接 口:1/8"卡套接頭 

控 制:量程選擇開關(guān),防水鍵,標(biāo)定及系統(tǒng)功能 

顯 示:大屏幕液晶背光顯示;分辨率:0.01ppm;
流量:0.25-2.5 L/M,推薦流量:1 L/M 

線 性:>.995超過所有量程 

壓 力:進樣0-3Mpa;排空-大氣壓 

電 源:220VAC,50Hz 

響應(yīng)時間:90%滿量程為15秒 
靈 敏 度:<0.5%滿量程 
傳感器型號:

 (TO2-1x):微量ppm;(TO2-2x)微量ppm當(dāng)CO2H2S>0.5%時,免維護

 (PO2-160): 百分比; (PO2-24)百分比當(dāng)CO2H2S>0.5%時,免維護 

傳感器壽命:24個月,25℃ 
輸 出:4-20mA ,RS485RS232
溫度范圍:5-45℃;TO2系列傳感器﹞;-20-45℃﹝PO2系列傳感器﹞ 
質(zhì) 保 期:12個月,包括分析儀和傳感器 


系統(tǒng)配置:減壓閥、水氣分離器、過濾器、精密過濾器器、自動疏水器、快速吹掃旁路、穩(wěn)壓小流量計、安全閥等

美國SOUTHLAND SENSING在線ppm百分比氧氣分析儀,每一款都可以多種量程可選0.01ppm-100%;微量氧氣、百分比

氣、氧氣純度分析----OMD-507OMD-150OMD-150-NG本安防爆OMD-625本安防爆;OMD-425(0-

100%);OMD-525;OMD-401D(0-00%);OMD-501D;OMD-150-1(0-1PPM);OMD-675-1(0-1PPM);;OMD-675-

10;OMD-677-1(0-1PPM);;OMD-677-10輸出方式可選:4-20mA,MODBUS RS485RS232ASCII等通信方式


便攜氧氣分析儀:OMD-480百分比;OMD-480P百分比帶泵OMD-580微量氧氣;OMD-580P微量氧氣帶泵OMD-640(0-1ppm)


硫化氫分析儀H2S-725微量防爆;H2S-150-NG防爆;H2S-150;H2S-780量程0-10、50、100、200ppm;0-100、500、1000、2000ppm

燃料電池傳感器:



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